企业名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

企业简介：

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创建于1958年，前身是中科院直属事业单位，2001年整体转制为企业，是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的国家级高新技术企业。公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是“真空技术装备国家工程研究中心”“国家真空仪器装置工程技术研究中心”的建设依托单位。

公司承担了国家“863计划” “02专项” “国家重点研发计划”等国家级科技专项，并通过自主研发创新实现了国产干式真空泵在集成电路领域的批量应用，打破了欧美及日本企业对同类产品的长期垄断，实现了关键装备的进口替代。公司长期致力于高端科研仪器设备的研发制造，为我国重大科技基础设施的建设发展做出贡献。在真空镀膜领域，公司研发形成了磁控溅射、离子束溅射、电子束蒸发、高温真空无油润滑、高性能高稳定性束源炉、复合镀膜等多项技术。通过多年的研发创新，公司现已开发完成第六代分子束外延设备。公司先后获得国家科技进步奖6项，中国科学院及省部级科技进步奖20项，拥有专利76项，被认定为国家第二批专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、国家知识产权优势企业、辽宁省技术创新示范企业、辽宁省创新型中小企业、辽宁省省级企业技术中心等。

产品简介

分子束外延设备：公司研制出的高性能分子束外延设备，攻克了高温高精度束源炉、高均匀大尺寸衬底架、高可靠传递与交接等关键技术，整机达到国内顶尖、国际一流水平，在集成电路领域的批量应用，打破了国外企业对同类产品的长期垄断，实现了进口替代。

干式真空泵：公司攻克了复合结构的干式真空泵动密封技术，研发生产的具有自主知识产权的干式真空泵产品，填补了国内空白，打破了国外同类产品的长期垄断，广泛应用于国内集成电路12英寸主流生产线，是国内唯一在集成电路领域实现批量应用的干式真空泵产品。

   联系方式：

联系人：李佳馨

电  话：024-23826803

邮  箱：lijiaxin@ @sky.ac.cn

网  址：https://www.sky.ac.cn/

地  址：辽宁省沈阳市浑南区新源街1-1号